300毫米晶圓涂層的自動(dòng)系統(tǒng)

客戶的需求

硅片涂布機(jī)自動(dòng)化

一位為電子和半導(dǎo)體行業(yè)生產(chǎn)粘合劑和涂層設(shè)備的客戶要求NOVO設(shè)計(jì)定制的硅晶片涂層系統(tǒng)，以將UV固化粘合劑涂覆到300mm晶片的一個(gè)表面上。該系統(tǒng)包括由輸送機(jī)提供服務(wù)的三個(gè)附加工位：上料，涂布和固化。 NOVO負(fù)責(zé)設(shè)備鑒定和過(guò)程驗(yàn)證。

技術(shù)方法

物料處理子系統(tǒng)由一個(gè)定制的旋轉(zhuǎn)器和一個(gè)安裝在線性定位系統(tǒng)上的真空吸盤組成。在施加真空并將晶片加速至設(shè)定的角速度之前，以傳送帶原始位置為基準(zhǔn)的被動(dòng)對(duì)中機(jī)構(gòu)將晶片對(duì)中。

然后將旋轉(zhuǎn)的晶圓推進(jìn)到涂覆工位，在該工位上，視覺(jué)系統(tǒng)確定晶圓的旋轉(zhuǎn)軸，然后將膠粘劑分配頭自動(dòng)與此軸對(duì)齊?；趤?lái)自定位晶片表面的傳感器的輸入來(lái)調(diào)整分配頭的z高度。分配頭配有輔助系統(tǒng)，該輔助系統(tǒng)允許以編程方式指定粘合劑的氣霧化方式，從而可以選擇旋涂或噴涂。在開(kāi)始涂覆過(guò)程之前，自動(dòng)部署了防風(fēng)罩和隔室門，以消除相鄰工位，傳送帶和旋轉(zhuǎn)器的過(guò)度噴涂污染。

涂完紫外線固化粘合劑后，將晶片推進(jìn)固化站，這是經(jīng)過(guò)精心設(shè)計(jì)的紫外線烘箱，經(jīng)過(guò)優(yōu)化可在晶片表面提供均勻的強(qiáng)度。調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)速，關(guān)閉隔室檢修門，使隔室有效地不透光，并開(kāi)始固化周期。在固化周期完成時(shí)，晶片被送回上料/下料站以供操作人員取回。

控制架構(gòu)是模塊化的；每個(gè)工作站都由單獨(dú)的工作站控制器控制，工作站由中央PLC控制器排序，該P(yáng)LC控制器還為觸摸屏UI提供服務(wù)。傳感器，限位開(kāi)關(guān)和互鎖裝置可以保護(hù)有價(jià)值的晶圓并確保操作員安全。遵守SEMI S2和S8標(biāo)準(zhǔn)。

偉大產(chǎn)品背后的工程

從概念設(shè)計(jì)到交付，該原型在大約三個(gè)月內(nèi)成功完成。該系統(tǒng)不僅滿足功能要求，而且符合其生產(chǎn)系統(tǒng)的工業(yè)設(shè)計(jì)，裝配和完成質(zhì)量?？蛻舾械綕M意的是，NOVO具有足夠的靈活性，可以在適當(dāng)?shù)臅r(shí)候自主運(yùn)行，但也可以合并其并發(fā)的設(shè)計(jì)和過(guò)程輸入，并利用現(xiàn)有的適用設(shè)計(jì)元素。